Tento reaktorový systém s lineárními anténami umožňuje na rozdíl od klasického PECVD systému deponovat nanodiamantové vrstvy vysoké kvality na velké plochy při nízké teplotě (~150°C). Dalším rozšířením klasické techniky je užití vysokofrekvenčních pulzních mikrovln, které jsou díky nelineární absorpci nezbytné pro zvýšení koncentrace plazmatu, co vede k nárůstu atomového vodíku a tím k maximalizovaným rychlostem růstu a nižším teplotám. Schopnost vytvářet vrstvy při nízkých teplotách rozšiřuje škálu možných substrátů, například na plasty, což by u standardního PECVD systému nebylo možné. Další výhodou systému je možnost homogenního pokrytí neplanárních povrchů.
Systém umožňuje depozici nedopovonaných i borem dopovaných vrstev nanokrystalického diamantu. Reaktorový systém lze využít i pro funkcionalizaci nanodiamantových částic v plazmatu.
Hlavní parametry systému:Připojené plyny: H2, CH4, CO2, TMB, O2, Ar
Dopace: 0 až 10 000 ppm B/C
Pracovní tlak: ~1 mBar
Maximální výkon: 3 kW kontinuální a 10 kW pulzní
Susbstráty: obvykle křemík, sklo, křemen, titan, nerezová ocel, plasty
Substrátový stolek: průměr 20 cm s ožností aktivního chlazení/zahřívání substrátu
Tento komerčně dostupný 1,5kW CVD reaktor je používán pro růst vysoce kvalitních borem dopovaných diamantových vrstev. Reaktor je schopný vytvářet širokou škálu nanodiamantových, polykrystalických a monokrystalických diamantových vrstev na množství různých substrátů. Systém je používaný jako referenční k systému PELMWCVD. Systém rovněž umožňuje vytvoření intenzivního kyslíkového plazmatu pro funkcionalizaci substrátů.
Hlavní parametry systému:Připojené plyny: H2, CH4, CO2, TMB, O2, Ar
Dopace: až 15 000 ppm B/C
Pracovní tlak: 30 až 120 mBar
Výkon: až 1,5 kW kontinuální
Susbstráty: typicky křemík, křemen, titan
Substrátový stolek: 8 cm v průměru s možností aktivního zahřívání substrátu
Metoda AFM umožňuje znázornit povrch 3D v nanometrovém měřítku. Ve skupině se metoda AFM používá pro studium vrstev diamantu a nanodiamantových částic. Metoda vyvinutá pracovníky skupiny umožňuje s velkou přesností vyhodnotit velikosti zrn v nanokrystalických vrstvách nebo počet a velikost částic. Zařízení také umožňuje studium vodivých povrchů metodou skenovací tunelovací mikroskopie (STM), magnetická měření a měření výstupní práce.
Mikroskop Bruker Dimension Icon,
link:http://www.bruker.com/products/surface-analysis/atomic-force-microscopy/dimension-icon/overview.html
Mikroskopie atomárních sil (AFM z anglického atomic force microscopy) je mikroskopická technika, která se používá k trojrozměrnému zobrazování povrchů. Prvně ji realizovali v roce 1986 Binnig, Quate a Gerber. Obraz povrchu se zde sestavuje postupně, bod po bodu. Metoda dosahuje velmi vysokého rozlišení – může zobrazovat i atomy. Techniku AFM lze použít nejen k zobrazování, ale také k tvorbě struktur či zpracování povrchů v nanometrové oblasti. Základem AFM je velmi ostrý hrot, který je upevněn na ohebném nosníku (angl. cantilever, tento termín se používá i v češtině). Během měření se hrot pohybuje po povrchu vzorku v pravidelném rastru (skenuje) tak, že výška druhého konce nosníku je konstantní. Je-li povrch vzorku nerovný, má nosník v různých místech vzorku různou velikost ohnutí a sledováním závislosti ohnutí na poloze na vzorku můžeme sestavit zvětšený obraz vzorku. AFM pracuje v tzv. kontaktním a bezkontaktním režimu. Hrot a vzorek na sebe působí především skrze van der Waalsovu sílu. Protože tato síla je velmi malá, provozuje se bezkontaktní režim tak, že je nosník rozkmitáván a místo jeho ohnutí se měří velikost amplitudy. Protože velikost amplitudy závisí na vzdálenosti mezi hrotem a vzorkem, lze sledováním změn amplitudy sestavit obraz povrchu vzorku.
Bruker Dimension Icon® Atomic Force Microscope
Copyright © 2015 OFM AV ČR, v. v. i.