Diamantové vrstvy jsou připravované pomocí metody mikrovlnné depozice z plynné fáze (MW PECVD) ze směsi plynného vodíku a metanu. Stejný reaktor jako pro metodu MW PECVD používáme pro funkcionalizaci povrchu plazmatem vodíku nebo kyslíku.
Připravené materiály jsou charakterizovány v rámci skupiny nebo ve spolupráci s jinými pracovišti a to zejména mikroskopií atomárních sil (AFM), elektronovou mikroskopií (SEM), elipsometrií, neutronovým hloubkovým profilováním (NDP), elektrickými měřeními, Ramanovou spektroskopií, fotoluminiscenčním měřením, rentegnovou difrakcí.
Copyright © 2015 OFM AV ČR, v. v. i.